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酸性废气处理流程及应用实例

       集成电路工艺过程中产生的酸性气体,经过酸排气配管至入口的静压箱,经过洗涤塔至排放口的静压箱,除去了酸性物质后,经处理过的气体经过排气风机排放到大气中。洗涤塔有循环泵、循环水流量计、pH计、液位计等监控系统,用氢氧化钠作为中和的化学品,通过测定循环水的pH值来控制氢氧化钠的注入泵开关。经过排气处理的处理水集中排放至工厂的废水处理系统处理,达到工业排放标准后排放。图1某FAB的酸性废气处理流程图,采用的多级填料方式,通过循环泵将NaOH溶液加压并不断从喷嘴中以雾状喷出,喷出的NaOH溶液和废气中的酸性物质起中和反应,从而达到净化处理目的,必要时,可以添加NaClO进行循环水杀菌处理。处理装置中的填料可以分散气流和水流,增加接触面积使酸性物质与NaOH充分接触,提高去除效率,此种处理装置处理效率高,阻力小且比较稳定。酸性废气处理系统入口H2SO4、HNO3浓度分别为20mg/Nm3,出口浓度都为1mg/Nm3;HF和HCl入口浓度分别为22.4ppm和12.3ppm,出口浓度分别为1.12ppm和0.62ppm,处理效率可达95%。另外在此流程中,风机设计在处理装置后,这样风机的轴承与腐蚀性废气隔绝,不易被腐蚀,并且可以确保处理装置连接处不因正压而导致漏风。
FAB的酸性废气处理流程图

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